Opt-measure

Opt-measure

高精度、大温度范围、设计精密的感测器测头。
系采用了白光/干涉法的非接触位移感测器。

采用新光源／新干涉法。由于利用来自粗糙面的漫射光进行测量，因而无需镜子或三角棱镜。可透过直接反射进行测量。

标准装备有 16 ch 的感测器。感测器与控制器间的线缆最多可延长至 1,000 m。最适合于用来测量实验装置的多点的位移。

透过采用新干涉法，实现直线性： ± 1 μm，重复精度　(2 σ )：0.1 μm。

透过温度稳定化光学机组来抑制温度漂移。在 20 ～ 30 ℃ 的现场环境下实现高精度。
± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃

透过完全不含任何电子零件的极小感测器工作头，即使在放射线环境下或强磁场、电磁杂讯环境下也可进行稳定的测量。