Opt-measure

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高精度、大温度範圍、設計精密的感測器測頭。
系採用了白光/干涉法的非接触位移感測器。

非接触位移感測器

採用新光源/新干涉法。由於利用來自粗糙面的漫射光進行測量,因而無需鏡子或三角稜鏡。可透過直接反射進行測量。

多點監控

標準裝備有 16 ch 的感測器。感測器與控制器間的線纜最多可延長至 1,000 m。最適合於用來測量實驗裝置的多點的位移。

高精度

透過採用新干涉法,實現直線性: ± 1 μm,重複精度 (2 σ ):0.1 μm。

低温漂移

透過温度穩定化光學機組來抑制温度漂移。在 20 〜 30 ℃ 的現場環境下實現高精度。
± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃

耐環境/極小感測器工作頭

透過完全不含任何電子零件的極小感測器工作頭,即使在放射線環境下或強磁場、電磁雜訊環境下也可進行穩定的測量。
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