XYZAX FUSION NEX

FUSION NEX 9/10/6

为了更进一步发挥压倒性的精确度及主动式扫描科技而完成内面进化的三座标测量仪。

具备±1μm 以下的优异精确度，亦保证最大允许示值误差为（MPEE）为1.6 + 3L/1000μm※。

※ 9/10/6以下尺寸时的精确度。

最大允许检测误差 (MPEP) 为 1.6μm

主动式扫描检测器可使用长型、重型的探针，可针对以往难以测量的部分进行高精确度测量。此外能控制测量压力，因此也可正确消除检测器的偏移。可针对已知形状，同时也是唯一可针对未知形状执行更快速、更正确测量的检测器系统。

*Anti Vibration Drive

主动扫描方式拥有“要求高精确同轴度、同芯度、平面度、真直度的工件或精密模具等的自由曲面评估作业、必须加长探针（如深孔等）时的高精度测量作业、需使用扫描测量方式的圆锥形部位的圆周测量作业、V型槽／滚珠螺杆槽／框架槽的评估作业、高精确度的几何形状评估作业”等多项测量实绩，获得极高评价。

可使用电磁力产生定量的小型测量力，并沿着工件的法线方向施加测量力。因此探针的偏移量既小且固定，使测量精确度得以提升。

使用机械式弹簧，除了会使测量力不均之外，也会使探针偏移量产生起伏变化，无法提升精确度。