異物檢查機

異物檢查系統主要是應用於近接式 (Proximity) 曝光製程
利用半導體雷射之遮光量估測以換算表面粗造度。

簡介

  • 因曝光時光罩 (Mask) 與玻璃基板間距相當小,且玻璃基板也 有其平整度誤差,間距大約維持 150μm~200μm 之間。
  • 如果玻璃基板有高度異物存在則在曝光時容易刮傷光罩及造成 玻璃基板破裂,最嚴重時會損傷曝光機 Stage (曝光平台),造成機台無法生產。

特點

  • 設備功能:同動控制系統、光學模組檢測、剛性阻尼架構。
  • 畫面功能:畫面選擇、參數設定、波形分析、SQL 歷史履歷紀錄。
  • 可接 PLC 控制設備與即時回傳資訊。
  • 本系統發現異物檢時傳回 CIM 系統。

專利

異物檢查系統之開發已於民國 100 年經 SBIR 結案驗證通過
其計劃編號:IZ980764

應用

可檢測最大之玻璃尺寸 ≦ 1870mm。

型號規格

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公司名稱 天鴻精密股份有限公司
經營型態 製造商、代理商、經銷商、批發商、零售商
公司地址 30091 新竹市香山區埔前路 276 號
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